Vrhunska tačnost ZEISS PRISMO ultra ostvarena je primenom brojnih modernih funkcija i korekcija. To uključuje kompenzaciju termičkih deformacija, aktivni pneumatski sistem vibracione izolacije, unapređene vazdušne ležajeve i ZERODUR® mernu skalu sa rezolucijom od 20 nanometara – što garantuje izuzetnu preciznost i stabilnost merenja. Dodatna CAA poboljšanja, uključujući optimizovanu tenzorsku kalibraciju, kompenzaciju ugiba referentne sfere i korekcije za RT merenja, osiguravaju maksimalnu tačnost čak i pri visokim brzinama merenja i doprinose izvanrednoj stabilnosti KMM-a, štiteći ga od spoljnih uticaja.